超深冷低溫去應力爐又稱低溫退火爐，主要用於消除鑄件、鍛件、焊接件、冷沖壓件以及機加工中的殘余應力。低溫去應力工藝是將工件慢慢加熱到去應力工藝溫度後，保溫一段時間後，然後隨爐冷卻的熱處理工藝。低溫去應力加熱溫度一般較低，適用於毛坯件及經過切削加工的零件，可消除毛坯件和零件中的殘余應力，穩定工件尺寸及形狀，減少零件在切削加工和使用過程中的形變和裂紋傾向。
冷形變後的金屬在低於再結晶溫度加熱，以去除內應力，但仍保留冷作硬化效果的熱處理，稱為去應力退火，也稱低溫退火。 在去應力退火中金屬組織及性能的變化，相當於溫度曲線圖中的恢復階段。在實際生产 中，去應力退火工藝的應用比上述定義廣泛得多。熱鍛軋、鑄造、各種冷變形加工、切 削或切割、焊接、熱處理，甚至機器零部件裝配後，在不改變組織狀態，保留冷作、熱作或表面硬化的條件下，對鋼材或機器零部件進行較低溫度的加熱，以去除內應力，減小變形開裂傾向的工藝，都可稱為去應力退火。
超深冷低溫去應力爐外殼由型鋼和鋼板製作成方形結構，結構類型類似於臺車式退火爐，可以根據不同的去應力退火溫度，策劃製造不同使用溫度的去應力退火爐。該爐型爐體結構優良、保溫層製造工藝嚴格，采用高標準發熱元件，並采用全自動微電腦工藝自動控溫系統，使爐內溫度均溫。去應力退火工藝自由編程，並自動控製升溫速度、保溫溫度及保溫時間，控溫精度達到±1℃。
超深冷低溫去應力爐熱處理主要有：退火、正火、淬火和回火四種常用方法。
退火目的：
1、降低硬度
2、提高韌性
3、消除殘余應力
4、獲得需要的機械性能
5、穩定尺寸
6、便於加工
7、改善切削加工性
8、減少氧化脫碳狀況
9、防止變形
10、節約能源退火類別
11、或非退火或非退火的目的是：
(1)降低材料硬度和脆性
(2)細化晶粒
(3)消除顯微組織的缺陷
(4)調整力學性能
(5)為後續的時效硬化作好準備
不全退火的目的是：
(1)通過適當控製加熱溫度來滿足某些特殊要求
(2)通過選擇適當的保溫時間以達到所要求的強度
(3)為了保證一定的塑性和韌性而不致使材料過分軟化
(4)避免在較低的溫度下發生馬氏體轉變
(5)避免在較高的溫度下發生相變
(6)防止出現白點
(7)防止過熱
(8)保持足夠的強度
(9)使金相組織和力學性能符合要求。
正火的目的：
1)改善含碳量較低的鋼材的切削性能。
2)中碳結構鋼要求不高時，可代替調質作為熱處理，起到簡化工藝的目的。
3)消除過共析鋼的網狀滲碳物。
4)消除缺陷、細化晶粒、改善組織、為熱處理做準備。
